冨フジワラ士原 民タミオ雄准教授TCU Research Directory 2023 135フォトリソグラフィによるマイクロ流路製作法流体工学 / マイクロテクノロジー / マイクロ流体研究テーマキーワード理工学部 機械工学科流体工学研究室研究室HP研究者情報最近の研究テーママイクロ流体デバイスでは、100μmオーダの深さの流路を多用しますが、そのような流路を高自由度かつ高精度で容易に製作できる手法はまだ得られていません。そこで、1μmオーダの深さを得意とするフォトリソグラフィ法による流路作製法の適用範囲を拡大するための手法を確立し、これまで製作できなかった様々なマイクロ流路を実現することで、マイクロフルイディクスの可能性を広げています。研究内容と目指すものマイクロ・ナノ関連技術は非常に幅広い分野にまたがり、多種多様な研究開発が行われ、流体工学においても多くのマイクロスケールの現象の解析とその応用が行われています。しかし、その基盤となる基本的な現象の理学的解析や実用的上の工学的な問題についてはまだ多くの課題を残しています。そ外部資金• 基盤研究（C）「交互送液法を利用した大量処理適応型マイクロリアクタの開発」（H27.4-）こで、流体工学の分野における各種微小物理量の精密測定技術を確立し、それらを活かしてマイクロ領域固有の現象のメカニズムを解明するとともに、マイクロ流体技術開発の基板となるデバイス製作法の確立することを目指しています。技術の特徴マイクロ流体技術の基盤となる、各種微小物理量の測定法を開発し、マイクロ流体関連の現象の解析を行っています。また、マイクロ流体デバイスの製作技術についても開発を行っています。技術の用途医用、生体、化学等の分野で利用されているマイクロ流体デバイスに応用されます。企業等との連携可能テーマ• マイクロ流体現象に関する各種測定• マイクロ流体デバイスの製作と応用• 流体工学及び流体力学に関する諸問題知的財産権・関連論文情報・著書T Fujiwara, I D Johnston, M C Tracey and C K L Tan, Increasing pumping efficiency in a micro throttle pump by enhancing displacement amplification in an elastomeric substrate, Journal of Micromechanics and Microengineering, 2010, Vol.20, No.6, 065018
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